北京市北京理工大学2025年10月政府采购意向招标预告

### 磁控溅射系统采购项目 ### 在采购意向： #################### 采购单位： ### 采购项目名称： ### 磁控溅射系统采购项目 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： A########半导体器件参数测量仪 采购需求概况： 磁控溅射系统#台套，具体参数要求详见采购文件。 供货期：签订合同之日起，##个月货到采购人指定地点并安装验收完毕（包括供货，安装，调试， ### 需时间）。具体事宜由成 ### 。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。 ### 超低损伤刻蚀机采购项目 ### 在采购意向： #################### 采购单位： ### 采购项目名称： ### 超低损伤刻蚀机采购项目 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： A########集成电路参数测量仪 采购需求概况： 超低损伤刻蚀机#台套，要求真空漏率≤#mtorr/min;Selectivity Si/PR Mask##:#;均匀性≤#%;刻蚀速率#nm/cycle。其他要求详见采购文件。 供货期：签订合同之日起，##个月货到采购人指定地点并安装验收完毕（包括供货，安装，调试， ### 需时间）。具体事宜由成 ### 。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。 ### 空间型原子层沉积系统采购项目 ### 在采购意向： #################### 采购单位： ### 采购项目名称： ### 空间型原子层沉积系统采购项目 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： A########集成电路参数测量仪 采购需求概况： 空间型原子层沉积系统#台套， ### 理的最大卷材宽度不低于###mm;生长速率氧化铝不低于#.#A/Cycle; ### 理的基底厚度范围不少于#.##-#.#mm;基底能够稳定通过反应区的最大速度不低于 #.##cm/s。其他要求详见采购文件。 供货期：签订合同之日起，##个月货到采购人指定地点并安装验收完毕（包括供货，安装，调试， ### 需时间）。具体事宜由成 ### 。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。