江苏省南京大学2025年9月政府采购意向招标预告

四维离子束刻蚀分析仪 ### 在采购意向： ################# 采购单位： ### 采购项目名称： 四维离子束刻蚀分析仪 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： A######## 半导体器件参数测量仪 采购需求概况： ### 拟采购四维离子束刻蚀分析仪一台，用于对金属、钙钛矿薄膜、 ### 刻蚀加工；以及允许在力、热、光、 ### 加载下，实现四维、多模态表征。主要参数如下：集成离子束刻蚀与实时分析功能，加工刻蚀精度：≤# ### # kV，分析精度：≤#.# ### kV, SE；样品台可实现旋转和倾斜。质保期：#年。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。