原位复合原子层级超晶格沉积系统 ### 在采购意向： ################# 采购单位： ### 采购项目名称： 原位复合原子层级超晶格沉积系统 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： A########真空应用设备 采购需求概况： 拟采购原位复合原子层级超晶格沉积系统集原子层沉积（ALD）、等离子体增强化学气相沉积（PE-CVD）及物理气相沉积（PVD）于一体，以满足亚纳米级（lt;# nm）薄膜与超晶格精确制备、三维复杂结构均匀包覆、低维量子材料与器件低温封装、低缺陷高纯度金属功能层与电极沉积等功能。主要技术需求如下：（#）无需整体腔室卸真空或大范围移动样品即可实现ALD和PVD原位复合薄膜制备（#）配置最高温度≥###℃的梯度控温样品台（#）设备预留接口可与手套箱连接，可实现样品在手套箱与腔体之间传样（#）ALD前驱体源可配置#个气源，带#个单独入口（#）配备等离子体增强模块, 频率≥#GHz；配合两路前驱体源的协同操控，可实现等离子体增强化学气相沉积（PE-CVD）功能（#）配置不少于两个磁控溅射源或可升级为电子束蒸镀模块，单穴最大功率###W，可放入坩埚数不少于#个主要包括如下组成：复合薄膜沉积腔体 #套含加热功能样品台 #套原子层沉积真空控制模块 #套原子层沉积功能配套真空泵 #套原子层沉积前驱体源 #套等离子增强模块 #套物理气相沉积真空控制模块 #套物理气相沉积功能配套真空泵 #套物理气相沉积模块 #套物理气相沉积控制器 #套腔体内真空阀门 #套服务要求： #年质保时限要求：到货####年#月 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。
### A校区第六教学楼一至三层维修工程 ### 在采购意向： ################# 采购单位： ### 采购项目名称： ### A校区第六教学楼一至三层维修工程 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： B########教育用房施工 采购需求概况： A校区第六教学楼一至三层维修工程，项目维修改造面积约####平方米，主要内容包括： ### 拆除调整、房间内装饰装修拆除、房间按智慧教室要求装修、茶水间及教师休息室装修、强弱电及空调改造等。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。
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