### 互联原子层沉积系统采购项目 ### 在采购意向： #################### 采购单位： ### 采购项目名称： ### 互联原子层沉积系统采购项目 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： A########其他电气机械设备 采购需求概况： 采购#台互联原子层沉积系统，需要满足以下具体指标： 原子层沉积系统： #)反应腔：样品最大#英寸，内外双区域加热，最高温度### ℃； #)均匀性： #% (Al#O#)； #)前驱通道#路，包含#路水，#路固液气源，#路均带加热包系统； #)Swagelok ALD快速响应阀门； #)#路载气N#或Ar，量程#-### sccm可调； #) ### 理： ### 理热蒸发阱，加热温度不低于### ℃； #)臭氧发生器：最大臭氧输出浓度为### mg L-# @### sccm pure O# flow； #)曝光工艺模式：满足深沟槽、微结构陈列等深孔、通孔等镀膜； #)曝光工艺的深宽比：####：#； ##)配备定制手套箱：环境内惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，可持续性除水除氧；水氧指标：小于# ppm；泄漏率：小于#.### vol% h-#； ##)系统带客户要求的完整制程工艺包； ##)可扩展Particle沉积反应腔，用于粉末表面包覆材料； ##)可扩展Domelid组件，用于Batch多片工艺沉积； ##)可扩展SAMs组件，用于沉积单分子自组装薄膜（有机高分子材料）； ##)可扩展LVPD低蒸汽压传送系统； 热蒸发、磁控溅射沉积互联模块 #)蒸发源：水冷铜电极#组，#英寸普磁靶#套； #)电源系统：#.# KW直流电源#台；### W射频溅射电源#台； #)膜厚监测：SQC###两通道石英晶振膜厚监控仪#套，MCVAC水冷膜厚探头#套； #)独立气动挡板及电动升降台； #)真空泵机组：JTFB-####风冷复合分子泵#台；ISP-###C涡旋干泵#台；KF##泵阀连接软管#套；ZDF-####数显真空计#台； #)样品台系统：转速#-## 转/分旋转台#个；###-### mm电动基片升降台#个；###×### mm基片托架#个；在线掩膜更换设备#套； 配备定制手套箱：环境内惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，可持续性除水除氧；水氧指标：小于# ppm；泄漏率：小于#.### vol% h-#。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。
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