上海市上海科技大学2025年07月政府采购意向招标预告

聚焦离子束微区分析仪 ### 在采购意向： #################### 采购单位： ### 采购项目名称： 聚焦离子束微区分析仪 预算金额： ####.######万元(人民币) 采购品目： 采购需求概况： 名称：聚焦离子束微区分析仪主要功能和目标：聚焦离子束微区分析仪是实现AI for Nanofab and Materials的重要设备， ### 切割、元素分析、纳米级成像、#D重构等获取器件的详细信息，包括材料、结构、尺寸与厚度等，从而获取复杂器件的原始设计。对该设备有如下要求：#）用于#寸及以上晶圆；#）SEM成像分辨率：不大于#. ### kV、#. ### #kV；#）SEM工作电流及电压范围：#pA-##nA，#.##-##kV；#）离子束工作电流及电压范围：#pA-###nA、#.#-##kV；#）含TEM制样台和低温冷台；#） ### 能谱测试，可以为EDS或SIMS，其中SIMS更优；#）可含STEM选件。采购数量：#套 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。