上海市上海科技大学2025年07月政府采购意向招标预告

晶圆级X射线衍射仪 ### 在采购意向： #################### 采购单位： ### 采购项目名称： 晶圆级X射线衍射仪 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： 采购需求概况： 名称：晶圆级X射线衍射仪功能和目标：晶圆级X射线衍射仪可以测量大尺寸晶圆的晶格参数、应力和位错，以及识别多晶超薄薄膜中的相组成。这些信息对于调整材料的制备和制造工艺尤为关键。晶圆级X射线衍射仪可实现高通量、高效率的数据采集，是实现AI for Nanofab的重要一环，对于半导体器件制程中多道工艺过程的参数控制，工艺流程的快速迭代具有重要意义。为满足AI for Nanofab and Materials的建设需求，拟采购的晶圆级X射线衍射仪需主要满足以下技术指标和性能：#.X射线发生器最大功率≥#kW，电压可变范围##kV~##kV，电流可变范围#~##mA#.测角仪半径≥###mm，最小可控步长≤#.####度#.样品台尺寸：可支持#英寸；#轴样品台，Z轴最大移动范围≥#mm，Phi： #~###度，Chi：≥##度#.探测器空间分辨率≤###um，配置支持#维、#维、#维扫描，可支持快速倒易空间测试采购数量：#套 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。