北京市北京科技大学2025年7至12月政府采购意向招标预告

集成电路电极材料超高真空互联物理沉积镀膜系统 ### 在采购意向： ###################### 采购单位： ### 采购项目名称： 集成电路电极材料超高真空互联物理沉积镀膜系统 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： A########其他仪器仪表 采购需求概况： （一）采购标的名称：集成电路电极材料超高真空互联物理沉积镀膜系统（二）采购标需实现的主要功能或者目标该系统主要包含#英寸超高真空原位刻蚀/蒸发镀膜系统和#英寸超高真空多靶位磁控溅射镀膜系统，用于纳米器件、光电器件、二维集成电路的金属电极、氧化物栅介质层、氧化物前驱体等各种金属/非金属单层、多层膜的高均匀性、高可靠性、高重复性制备。（三）采购标的数量：#套（四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。