上海市上海大学2025年07月政府采购意向招标预告

EUV光源腔环境控制与流动测试平台 ### 在采购意向： ################## 采购单位： ### 采购项目名称： EUV光源腔环境控制与流动测试平台 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： 采购需求概况： #. 等离子发生器：等离子体发生器功率要求#~###W连续可调，需内置质量流量控制器；真空度#.# Pa；等离子体密度：##？-###？cm？#； ### 理O？、N？、Ar、H？等气体成份；反应腔内径大于### mm，高度### mm；需要有过压、过流、过热保护；#. 质谱分析仪：质谱分析范围#-### amu，分辨率## at ##% peak height；灵敏度大于#×##？#？ A/mbar; 扫描速度## amu/s; 采样速率# ms; 背景噪音##？#？ A。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。