浙江省浙江大学2025年8月政府采购意向招标预告

##吋硅光成套工艺及定制化CMOS研发 ### 在采购意向： ################# 采购单位： ### 采购项目名称： ##吋硅光成套工艺及定制化CMOS研发 预算金额： ####.######万元(人民币) 采购品目： C######## 电子、通信与自动控制技术研究服务 采购需求概况： ### 涉及到的##吋CMOS产线设备的机台使用费及加工费用：#、SOI wafer，##吋硅光成套工艺，目标：最小加工尺寸≤##nm，基于曲线的硅光OPC前修正技术，波导宽度偏差≤##nm，条形波导损耗≤#dB/cm，锥形波导尖端尺寸≤##nm，氮化硅波导损耗≤#.#dB/cm，层数≥#需求指标达标交付晶圆数量##；#、##", P-EPI, #-## ohm, Notch-###, full loop, 定制低功耗##nm CMOS成套工艺，目标NFET：Idsat≥#.###mA/um，Ioff≤###pA/um；PFET：Idsat≥#.###mA/um，Ioff≤###pA/um，需求指标达标交付晶圆数量##； #、##", P-EPI, #-## ohm, Notch-###, full loop, 定制高压###nm BCD成套工艺，目标NFET：Idsat≥#.###mA/um，Ioff≤###pA/um；PFET：Idsat≥#.###mA/um，Ioff≤###pA/um，需求指标达标交付晶圆数量##；#、SOI wafer，硅光SiGe探测器器件，目标：硅基锗探测器暗电流≤###nA，响应度≥#.#A/W 带宽≥##GHz，需求指标达标交付晶圆数量##；#、SOI wafer，应变晶体管，目标：与常规晶体管相比，器件速度提升，漏电降低，需求指标达标交付晶圆数量##。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。