上海市上海大学2025年09月政府采购意向招标预告

高通量高真空双室磁控溅射沉积系统 ### 在采购意向： ################## 采购单位： ### 采购项目名称： 高通量高真空双室磁控溅射沉积系统 预算金额： ###.######万元(人民币) 采购品目： 采购需求概况： 高通量高真空双室磁控溅射沉积系统，#套，用于制备金属材料、陶瓷材料薄膜样品。包括直流溅射电源和射频溅射电源。具有精准气体流量控制器，能够实现多种气体控制精度。基台具有加热、自转等功能。靶位数量＞#个。真空度最低##-#Pa。膜厚均匀性≤±#%。要求供货周期为合同签订后#个月，质保#年。 预计采购时间： ####-## 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， ### 和采购文件为准。