SGKY20250600079-定制磁控溅射镀膜机器招标公告

基本信息： 申购主题： ########################## 报价要求： 国产含税 发票类型： 增值税专用发票 付款方式： 默认货到验收合格后付款，如有异议请备注。 送货时间： 发布竞价结果后#天内送达 安装要求： 免费上门安装（含材料费） 预算： ****** 人民币 收货地址： 江苏省/南京市/江宁区/**** 供应商资质： 备注说明： 货期，质保等必要信息请备注。 采购明细： 序号 设备名称 数量/单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 附件 # 定制磁控溅射镀膜机器 #.# 不限，报价单位请备注 不限，报价单位请备注 配置：#.最大可镀#英寸（Φ###mm）#片或者均布其它规格小片；基片台配挡板、旋转，加热#只#inch圆形平面靶，#台电源，直流#台/射频#台#.配负偏压电源#.#路工艺气体#.PLC手自动控制，触摸屏操作参数：#.真空腔室：净空间尺寸不大于Φ###×H###mm，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ##mm；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用###无磁不锈钢材质；#.真空系统：主泵分子泵抽速不小于####m#/h，双级旋片泵抽速不小于##m#/h，全量程数显复合真空计量程：#×###～#×##-#Pa；#.▲真空极限：优于#.#×##-#Torr；#.★抽速：抽至#.#×##-# Torr≤##min；#.▲基片台：根据客户要求定制的基片台， ### 理基片不小于#英寸，基片台配一体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台需要设计旋转：旋转速度#-##转/分连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热：PID智能温控表，控温范围室温～###℃；配负偏压电源一台；#.★阴极靶：#只#英寸圆形平面靶，射频靶需采用原装进口品牌， ### 需采用全金属密封，不得采用胶圈密封，以满足超高真空应用。靶材安装不需要固定压环，暗区屏蔽装置高度低于靶材表面，减少对辉光区域的束缚，并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率。靶头可调整角度不小于±##°，可单靶轮流/多靶聚焦共溅射；#.溅射电源：直流电源#台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源#台，要求自动匹配；#.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，角度与靶倾斜角度同步可调，要求磁流体密封；#.气路系统：不少于四路工艺气体MFC 控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；##.操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，触摸屏不小于##英寸，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下， ### 相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；##.其它：冷却循环水机#台，制冷量不小于#P；镀膜设备及外围设备（冷水机等）总占地面积不超过#平米。 质保#年