Print###############################项目名称射频电源项目编号SUSTech-JC-####-#####项目类型货物类成交方式 ### 发布时间####-##-## ##:##:##预算(元)######.##项目预算是否含税国产含税 备注采购明细序号名称数量单位#
射频电源（核心货物）
#
套
是否接受进口
拒绝进口
品牌
无推荐品牌
型号
无推荐型号
技术规格及参数
#.#电压范围：###VAC±##％，#线，带地线（PE）；#.#频率范围：##Hz~##Hz；#.#输入电流：#.#A；#.#浪涌电流：冷启动##A；#.#功率因数：PF≥#.##（最大功率输出时）；#.#效率：≥##％（输出功率大于###W，并且负载为标准##欧时）；#.#输出频率：##.##MHz±##ppm；#.#功率：最小功率#W，最大功率###W，连续可调；#.#最大反射功率：###W,如果反射功率大于###W，射频电源会降低输出，保持发射不大于###W；配套附件：#、真空腔室：尺寸φ###×H###mm,材质SUS###优质不锈钢，圆柱形、前开门结构。（#件）#、基片台：尺寸φ###mm，可#～##转/分钟旋转，可加热至###℃，可调可控，基片台带有绝缘设计，可加负偏压，带气动挡板。（#件）#、溅射靶：#套#英寸永磁靶，靶角度、靶基距免拆卸手动可调，带独立气动挡板。#、真空系统：采用复合分子泵（####L/S）+直联高速旋片式真空泵(#L/S)+高真空阀门+数显复合真空计。（#件）#、气路：Ar，###sccm；N#，##sccm；O#，##sccm。（#件）#、水路气体：配制冷量#.##KW冷水机（#件）；配最大排气量###L/min空压机（#件）。#、自动恒压系统，薄膜规+电机驱动控制阀+控制软件闭环自动控制；保持镀膜时工艺压力稳定。（#件）#、电气控制：PLC+触摸屏半自动控制系统。（#件）#、机架：机架和控制柜一体化设计，碳钢制作， ### 理，配脚轮。（#件）##、靶材：铂##.##%，φ##.#×#mm，#块；铜，φ##.#×#mm，#块；镍##.###%，φ##.#×#mm，#块；铬##.##% ，φ##.#×#mm，#块；镍铬合金（镍##:铬##），φ##.#*#mm，#块。
质保期
#.产品质保#年，质保期内维修免费（人为损坏因素除外），质保期以外设备的维护，只收取成本费。#.为保证售后服务质量， ### 家授权文件和售后服务承诺#.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（ ### 件）
售后要求
##小时内响应客户， ###
付款方式合同生效并收到相应发票后支付合同总额的##%作为进度款； ### 且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的##%。交货期合同签订后##天（自然日）内， ### 要求提前#天（自然日）通知送货
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