山东省空天信息大学(筹)光刻及表征设备采购项目（11196）更正公告公告变更

更正公告一、 ### 的采购项目编号：SDGP##################### 原公告的采购项目名称： ### (筹)光刻及表征设备采购项目（#####） 首次公告日期：####年##月##日 二、更正信息更正事项：采购文件 更正内容： #包项目需求和技术方案-货物明细:#；#英寸光刻机，原内容：#.光刻分辨率：≤ #.# ?m（真空接触、光刻胶厚度≤ # ?m时、等间距图形Line/Space=#:#，###mm范围内#点）；≤#.# ?m（##?m间隙，光刻胶厚度≤ # ?m时，等间距图形Line/Space=#:#,###mm范围内#点）；-变更为：#.光刻分辨率： ≤ # ?m（真空接触、光刻胶厚度≤ # ?m 时、等间距图形 Line/Space=#:#，###mm 范围内 # 点）； ≤#.# ?m（##?m 间隙，光刻胶厚度≤ # ?m 时，等间距图形Line/Space=#:#,###mm 范围内 # 点）；。 #包项目需求和技术方案-货物明细:#；#英寸光刻机，原内容：#.曝光灯：LED曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强，使用寿命＞####小时，无需气体冷却，曝光光强：≥ ##mW/cm^# @###nm；≥ ###mW/cm^# @UV全波段，光强均匀度：≤ ±#.#％@#英寸；-变更为：#.曝光灯：LED 曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强，使用寿命＞#### 小时，无需气体冷却，曝光光强：≥ ##mw/cm^# @###nm；≥ ##mw/cm^# @UV全波段,光强均匀度：≤ ±#.#％@# 英寸；。 更正日期：####年##月##日 三、其他补充事宜无 四、 ### 内容提出询问，请按以下方式联系。#.采购人信息名 称： ### (筹) 地 址： ### 路#号 联系方式：####-######## #.采购代理机构信息名 称： ### 地 址：山东省济南市市中区二环南路####号#楼###室 联系方式：####-######## #.项目联系方式项目联系人：张兆冉 电 话：####-########