#.项目名称:MEMS微扫描镜加工
#.成交供应商名称: ###
#.成交供应商地址:武汉市江夏 ### 研发楼(#号楼)
#.成交金额(币种):##.###万元
#.付款方式:合同签订后#个工作日内预付合同金额的##%,服务完成且验收合格后##个工作日内支付合同金额的##%
#.主要成交标的:
序号服务内容
服务期限
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光罩板#块,调试用wafer及recipe调试
合同签署后##天
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正光刻#次,图形转移
合同签署后##天
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干法刻蚀MoAlScNSiO#
合同签署后##天
#湿法+高温去除光刻胶合同签署后##天
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####年##月##日
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