根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，经审议， ### 拟对#个建设项目环境影响评价文件作出批复决定。为保证此次审议工作的严肃性和公正性，现将各建设项目环境影响评价文件的基本情况予以公示。公示期为####年#月#日-####年#月##日（#个工作日），公众可以以信函、电子邮件等方式提交书面意见。
听证权利告知：依据《 ### 政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。
联系电话：###-########、########
通讯地址：西安高新区锦业路#号都市之门A座二楼
一、拟批准的建设项目环境影响报告表（书）
序号项目名称建设地点建设单位环评单位建设项目概况主要环境影响及对策措施公众参与情况#
##英寸集成电路硅片生产用耗材导入及验证平台建设项目
西安市高新技术产业开发区坤元路###号
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### ##英寸集成电路硅片生产用耗材导入及验证平台建设项目位于西安市高新技术 ### ### 区内。 ### ### 区资源，拟建设一套面向##英寸硅片制造工艺的关键辅耗材验证生产线。通过购置拉晶炉、抛光设备及平坦度检测机等检测分析及辅助验证设备， ### 检测、验证试验、硅片质量评估、结果反馈等环节的全流程验证能力体系。项目建成后，每年可验证各类耗材样品##批次，覆盖导流筒、石墨坩埚、精抛垫、抛光液、游星轮、磨砂轮#大类材料。项目总投资#####万元，其中环保投资##万元，环保投资占比#.#%。
（一）废气：项目在耗材验证过程中产生的废气，均依托“ ### 二期项目” ### 理。各厂房的生产设备均置于全封闭空间内， ### 设有排风接口，针对不同反应环节产生的废气，通过风管分别收集至相应的洗涤塔，处理达标后排放。 ### 理后，经#根##m高排气筒（DA###）达标排放； ### 房酸性废气经POU（水洗）处理后， ### 房酸性废气混合进入洗涤塔， ### 理后，经#根##m高排气筒（DA###和DA###）达标排放； ### 理后，经#根##m高排气筒（DA###）达标排放； ### 理系统产生的恶臭气体经收集后由#套酸性洗涤塔+ ### 理后由#根##m高排气筒（DA###）达标排放。
（二）废水：项目产生的废水有含磷废水、酸碱废水、含氟废水、研磨废水、低含氨废水、高含氨废水、废气洗涤塔排水、辅助设施排水（纯水制备废水、冷却塔排水）、含铬废水，产生的废水均依托“ ### 二期项目” ### 理， ### 理系统、 ### 理系统、 ### 理系统、 ### 理系统、 ### 理系统、 ### 理系统， ### 理达标后排放。 ### 置。
（三）噪声：使用低噪声设备，采取基础减振、厂房隔声等降噪措施， ### 界噪声达标排放。
（四）固废： ### 过程中产生的废酸、废碱液、沾染危化品的废包装材料、 ### 理系统污泥、实验室废液等危险废弃物分类收集后暂存于现有危废贮存库内， ### 置；项目产生的废石英坩埚、 ### 、废砂浆、废钢线、废磨轮、废抛光垫、废过滤器、废石墨基座、废石英夹套、废硅片等一般工业固体废物按照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB#####-####） ### 置。
报告表类项目，未开展公众意见调查。
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##英寸集成电路硅片生产用耗材导入及验证平台建设项目（公示稿）.zip
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