根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审议, ### #英寸功率半导体器件制造项目#个项目环境影响评价文件作出审批意见。为保证审批意见的严肃性和公正性,现将该建设项目环境影响评价文件的基本情况予以公示。公示期为####年#月##日-####年#月##日(五个工作日)。
电话:###-########
传真:###-########
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通讯地址:西安经开区明光路凯瑞F座###室
听证告知:依据《 ### 政许可法》,自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。
序号项目名称建设地点建设单位环评单位建设项目概况主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施公众参与情况#
### #英寸功率半导体器件制造项目
### 十二路#号西安关中综合保税区A区龙腾###号、###号、###号、###号
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建设#英寸功率半导体器件制造项目。购置DUV紫外光刻机、氢离子注入机、Taiko背面减薄机等工艺及检测设备,建设配套动力设施,形成#英寸超结MOSFET晶圆##万片/年,IGBT晶圆##万片/年批量生产能力。
#、废气
### 理后,由##m高排气筒排放;离子注入工艺尾气经POU净化系统(干式吸附)处理后,由##m高排气筒排放;其他工序工艺尾气经POU净化系统(干式吸附/燃烧水洗) ### 理后,由##m高排气筒排放; ### ### 理后,由##m高排气筒排放;锅炉废气自带低氮燃烧器,锅炉废气经##m高排气筒排放。
#、废水
### 理后、 ### 理、 ### 理后同碱性废水、酸性废水一并依托现有中和废水系统调节 pH ### , ### 理厂; ### ### 理后, ### 理厂。
#、噪声
项目选用低噪声设备, ### 、基础减振、厂房隔声等措施。
#、固废
项目生活垃圾分类收集, ### 门集中清运;不合格产品、废包装材料等一般固废定期外售; ### 置;废有机溶剂、显影废液、 ### 置。
该项目于####年#月##日、# ### ### 了三次公示,并于####年#月#日和 ####年#月##日在《西北信息报》 ### 了登报公示, ### ### 征求意见。环评信息公示期间,建设单位与环评单位均没有收到任何形式的公众反馈意见。
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####年#月##日
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