湖北省集成电路制造装备高性能工艺电源研发和产业化基地前期启动项目审批项目

项目名称 ############################# 建设内容及规模 ### 房，购置等离子腔体电源实验平台、射频电源测试平台等设备，建设半导体制造设备工艺电源的研发实验室及工业电源生产产线，建成后研发并生产集成电路制造装备高性能工艺电源，达产后年产能约#####万。 项目代码 ####-######-##-##-###### 项目单位 ### 法人代表姓名 曹彬 项目单位性质 ### 政区划 湖北 ### 属行业 总投资 #### 建设性质 # 拟开工时间 ####-## 备案证状态 ####-## 申报日期 ####-##-## ##:##:##